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1. 簡介導(dǎo)光板（Light guide plate，LGP）是主要光斑形狀為矩形、圓形，透過率超過?90%。勻光片對入射光的波長、入射角度變化不敏感，適合各種照明應(yīng)用。2. 技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品指標(biāo)：最細線寬0.8微米，線寬精度小于0.15微米

1. 簡介光刻掩模版（Mask Reticle），是微納加工技術(shù)中光刻工藝中使用的圖形母版。由不透光的遮光薄膜和透光的圖形組成。主要應(yīng)用在如集成電路，印刷電路板，平板顯示器，微納光學(xué)元件等。我司的掩模板加工有兩種方式：一為激光直寫；另一為電子束直寫。2. 技術(shù)參數(shù)  基板材料  蘇打玻璃、石英最細線寬1 μm線寬誤差0.15 μm基板尺寸  3” / 4” ...

產(chǎn)品指標(biāo)：最細線寬20μm

產(chǎn)品指標(biāo)：最細線寬約1.2μm

衍射分束元件可以將單束入射激光轉(zhuǎn)變?yōu)槎鄠€激光束，并且保持光束質(zhì)量和特性不變。多束激光的排布方式可以是一維、二維或者任意隨機的排布；各束激光的能量可以是均勻的或任意分布的。